ICS 13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015 代替GB/T25915.2—2010 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO14644-2:2015,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015 目 次 前言 引言 范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4监测计划的制定、执行及持续改进 5按粒子浓度定期划分空气洁净度 附录A（资料性） 制定监测计划考虑事项 附录B（资料性） 设定预警值和干预值的考虑事项 参考文献 11
GB-T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
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