ICS31.080.99 CCSL59 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T26111—2023 代替GB/T26111—2010 微机电系统（MEMS)技术 术语 Micro-electromechanicalsystemtechnologyTerms (IEC62047-1:2016,Semiconductordevices—Micro-electromechanical devicesPart1:Termsanddefinitions,MOD) 2023-05-23发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB-T 26111-2023 微机电系统 MEMS 技术 术语
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