(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告 号
(45)授权公告日
(21)申请 号 202221845096.8
(22)申请日 2022.07.18
(73)专利权人 中船 (邯郸) 派瑞特种气体股份有
限公司
地址 057550 河北省邯郸市肥乡区化工 工
业聚集区纬五路1号
(72)发明人 闫云 李旭 王星帅 王坤
刘海芳 沙婷 姜世楠
(74)专利代理 机构 西安汇恩知识产权代理事务
所(普通合伙) 6124 4
专利代理师 彭琼
(51)Int.Cl.
B01D 53/04(2006.01)
B01D 53/30(2006.01)
(54)实用新型名称
一种精准控制型干式尾气处 理装置
(57)摘要
本实用新型提供了一种精准控制型干式尾
气处理装置, 包括第一气 源输送管和第二气源输
送管, 第一气 源输送管的一端连接在第二气源输
送管上, 第一气源输送管上从左至右依次安装有
第一自动阀、 第一单向阀、 第一流量计、 稀释气管
线、 混匀罐和第四自动阀, 第二气源输送管上从
左至右依次安装有第二自动阀和第二单向阀, 稀
释气管线上安装有第二流量计、 第三单向阀、 调
节阀和第三自动阀。 本实用新型的干式尾气处理
装置, 可用于处理两个气源的尾气, 并可用于处
理浓度高于填料要求的尾气, 装置配备自动化控
制装置结合自控 连锁及程序, 提高操作便利性和
吸附的效率, 降低了泄露的风险, 保障了运行安
全, 增强了实用性。
权利要求书1页 说明书3页 附图2页
CN 217568106 U
2022.10.14
CN 217568106 U
1.一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 包括主吸附桶(19)、 混匀罐(13)和
应急吸附桶(25), 所述主吸附桶(19)的一端 连接第二气源输送管(6), 主吸附桶(19)的另一
端连接放出管线(29), 所述第二气源输送管(6)上连接第一气源输送管(2), 所述放出管线
(29)上连接应急管线(26), 所述第一气源输送管(2)上连接稀释气管线(11), 所述应急管线
(26)上设置所述应急吸附桶(25), 所述混匀罐(13)设置在第一气 源输送管(2)上, 所述应急
管线(26)上安装有风机(23)。
2.根据权利要求1所述的一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 所述第 二气
源输送管(6)上通过连接管(17)连接有压力变送器(18), 所述连接管(17)上安装有阀门
(16), 所述连接管(17)连接在第一气源输送管(2)和主吸附桶(19)之间的位置 。
3.根据权利要求1所述的一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 所述第 一气
源输送管(2)上沿气体运动方向依次设置有第一自动阀(3)、 第一单向阀(1)、 第一流量计
(7)和第四自动阀(15), 所述混匀罐(13)设置在第一流量计(7)和第四自动阀(15)之间, 所
述稀释气管线(1 1)连接在第一 流量计(7)和混匀罐(13)之间。
4.根据权利要求1所述的一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 所述稀释气
管线(11)上沿气体运动方向依次设置有第三自动阀(8)、 调节阀(9)、 第三单向阀(10)和第
二流量计(12)。
5.根据权利要求1所述的一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 所述第 二气
源输送管(6)上沿气体运动方向设置有第二自动阀(4)和第二单向阀(5)。
6.根据权利要求1所述的一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 所述主吸附
桶(19)的侧壁上设置有可视 窗口(21), 所述主吸附桶(19)内填充有吸附层(14), 所述吸附
层(14)上设置有显色条(30), 所述显色条(30)设置对应可视 窗口(21)的位置, 所述主吸附
桶(19) 的外侧壁上安装有温度传感器(20)。
7.根据权利要求1所述的一种精准控制型干式尾气处理装置, 其特征在于, 所述放出管
线(29)上沿气体运动方向依次设置有气体探测器(22)和第七自动阀(27), 所述应急管线
(26)上沿气体运动方 向设置有第五自动阀(28)、 应急吸附桶(25)、 第六 自动阀(24)和风机
(23), 所述放出管线(29)的两端分别连接主吸附桶(19)和应急管线(26), 所述应急管线
(26)连接在放出 管线(29)上气体探测器(2 2)和第七自动阀(27)之间的位置 。权 利 要 求 书 1/1 页
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CN 217568106 U
2一种精准控制型干式尾气处理装 置
技术领域
[0001]本实用新型属于尾气处理技术领域, 具体涉及一种精准控制型干式尾气处理装
置。
背景技术
[0002]干式吸附式尾气处理机是尾气处理的一种重要方式, 具有如下特点: (1)以吸附桶
完全处理设备尾气; (2)没有明火; (3)节省能源, 没有高耗能需求; (4)不需要耗用水资源,
没有废水处 理问题; (5)确保尾气处 理的安全性, 过程无危害。
[0003]干式吸附式尾气处理机广泛应用于IC、 LED、 LCD以及特种气体的生产过程, 但是,
目前的干式吸 附式尾气处理装置仅是单一的吸 附过滤功能, 结构简单, 不具有自主判断尾
气是否超标排放的功能, 另外在吸附桶饱和 后需要停止作业, 降低了吸附效率, 另外在处理
时存在应急状态下泄漏尾气的问题, 为此, 需要设计一种精准控制型干式尾气处理装置来
解决上述问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足, 提供一种精准控
制型干式尾气处理装置, 该装置结构设计科学合理, 实用性强, 能精准控制干式尾气处理,
吸附效率高, 安全性强, 可推广使用。
[0005]为解决上述技术问题, 本实用新型采用的技术方案是: 一种精准控制 型干式尾气
处理装置, 其特征在于, 包括主吸 附桶、 混匀罐和应急吸 附桶, 所述主吸附桶的一端连接第
二气源输送管, 主吸 附桶的另一端连接放出管线, 所述第二气源输送管上连接第一气源输
送管, 所述放出管线 上连接应急管线, 所述第一气源输送管上连接稀释气管线, 所述应急管
线上设置所述应急吸 附桶, 所述混匀罐设置在第一气源输送管上, 所述应急管线上安装有
风机。
[0006]优选地, 所述第二气源输送管上通过连接管连接有压力变送器, 所述连接管上安
装有阀门, 所述连接管 连接在第一气源输送管和主吸附桶之间的位置 。
[0007]优选地, 所述第一气源输送管上沿气体运动方向依次设置有第一自动阀、 第一单
向阀、 第一流量计和 第四自动阀, 所述混匀罐设置在第一流量计和 第四自动阀之 间, 所述稀
释气管线连接在第一 流量计和混匀罐之间。
[0008]优选地, 所述稀释气管线上沿气体运动方向依次设置有第三自动阀、 调节阀、 第三
单向阀和第二 流量计。
[0009]优选地, 所述第二气源输送管上沿气体运动方向设置有第二自动阀和第二单向
阀。
[0010]优选地, 所述主吸附桶的侧壁上设置有可视窗口, 所述主吸附桶内填充有吸附层,
所述吸附层上设置有显色条, 所述显色条设置对应可视窗口的位置, 通过可视窗口观察显
色条的显色变化从而判断主吸附桶内的吸附层是否吸附饱满及时更换维护吸附层, 所述主说 明 书 1/3 页
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专利 一种精准控制型干式尾气处理装置
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