(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222026352.7 (22)申请日 2022.08.01 (73)专利权人 海宁知形 科技有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴 市海宁市海宁经 济开发区海宁大道8号9幢3层 (72)发明人 黎明　 (74)专利代理 机构 浙江永航联科专利代理有限 公司 33304 专利代理师 俞培锋 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体晶圆盒抓取装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种半导体晶圆盒抓取 装置， 包括工作台， 工作台上通过一移动机构设 置有机械手， 机械手包括机械臂和夹取机构， 夹 取机构包括电机一、 安装块一、 夹体、 推杆一、 推 杆二、 齿轮一、 夹板一和夹板二， 电机一安装在机 械臂的活动端， 安装块一的一端连接在电机一的 输出轴上， 夹体通过转动轴转动连接在安装块一 的另一端， 转动轴还与一使其转动的电机二相 连， 夹体两侧水平滑动安装有推杆一和推杆二， 夹板一连接在推杆一的外端， 推杆一的内端具有 齿牙部一， 夹板二连接在推杆二的外端， 推杆二 的内端具有齿牙部二， 夹体中部安装有电机三， 电机三的输出轴上安装有齿轮一， 且齿轮一与齿 牙部一相啮合同时齿轮一又与齿牙部二相啮合。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217866831 U 2022.11.22 CN 217866831 U 1.一种半导体晶圆盒抓取装置， 包括工作台(1)， 其特征在于， 所述工作台(1)上通过一 移动机构设置有机械手， 所述机械手包括机械臂(2)和夹取机构， 夹取机构安装在机械臂 (2)的活动端， 所述夹取机构包括电机一(29)、 安装块一(4)、 夹体(5)、 推杆一(6)、 推杆二 (7)、 齿轮一(8)、 夹板一(9)和夹板二(10)， 电机一(29)安装在机械臂(2)的活动端， 安装块 一(4)的一端 连接在电机一(29)的输出轴上， 夹体(5)通过转动轴(27)转动连接在安装块一 (4)的另一端， 转动轴(27)还与一使其转动的电机二(28)相连， 且电机二(28)安装在安装块 一(4)上， 所述夹体(5)两侧水平滑动安装有推杆一(6)和推杆二(7)， 夹板一(9)连接在推杆 一(6)的外端， 推杆一(6)的内端具有齿牙部一， 夹板二(10)连接在推杆二(7)的外端， 推杆 二(7)的内端具有齿牙部二， 夹体(5)中部安装有电机三(3)， 电机三(3)的输出轴上安装有 齿轮一(8)， 且齿轮一(8)与齿牙部一相啮合同时齿轮一(8)又与齿牙部二相啮合， 所述移动 机构包括电机 四(11)、 齿轮二(12)和滑块(13)， 所述工作台(1)上水平安装有导槽体(14)， 导槽体(14)上具有齿槽部， 滑块(13)与导槽体(14)滑动连接， 所述机械手的安装端连接有 底座(15)， 底座(15)和滑块(13)相连， 电机四(11)安装在底座(15)内部， 齿轮二(12)固定在 电机四(11)的输出轴上， 且齿轮二(12)与齿槽部相啮合， 所述工作台(1)上还开有若干物料 槽(16)， 物料槽(16)沿着导槽体(14)的长度方 向均匀布置， 物料槽(16)底部安装有运送机 构， 物料槽(16)的靠 近机械手的一侧还安装有靠 板(17)。 2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆盒抓取装置， 其特征在于， 所述运送机构包括 电机五(18)、 主带轮(19)、 从带轮(20 )、 同步带(21)、 驱动辊(22)、 支撑辊(23 )和输送带 (24)， 驱动辊(22)水平转动安装在物料槽(16)底部的一端， 支撑辊(23)水平转动安装在物 料槽(16)另一端， 且输送带(24)套设在 驱动辊(22)和支撑辊(23)上， 电机五(18)安装在工 作台(1)上， 所述电机五(18)的输出轴还安装有主带轮(19)， 驱动辊(22)的端部安装有从带 轮(20)， 同步带(21)套设在主带轮(19)和从带轮(20)之间。 3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆盒抓取装置， 其特征在于， 所述夹板一(9)与 夹体(5)之间具有伸缩杆一(25)， 夹 板二(10)与夹体(5)之间具有伸缩杆二(26)。 4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆盒抓取装置， 其特征在于， 所述夹体(5)、 夹板 一(9)和夹 板二(10)上均还安装有橡胶护垫 。 5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆盒抓取装置， 其特征在于， 所述靠板(17)表面 安装有保护垫 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217866831 U 2一种半导体晶圆盒抓取装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于机械技术领域， 涉及一种抓取装置， 特别是一种半导体晶圆盒抓 取装置。 背景技术 [0002]半导体晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片， 常用来制作硅半导体集成电 路。 [0003]在制作过程中经常需要将半导体晶圆放入晶圆盒， 方便运送， 为了将半导体 晶圆 盒进行运送， 就需要用到半导体晶圆盒抓取装置 。 [0004]经 检 索 ， 如中国 专 利文献公 开 了 一 种物料盒 抓取 装 置【申 请号 ： CN   201721715848.8； 公开号： CN  207630049U】 。 这种物料盒抓取装置,包括机械臂及机械爪； 机 械臂包括底座、 第一臂、 第二臂、 第三臂及第四臂， 第一臂、 第二臂、 第三臂及第四臂依次转 动连接， 且第一臂与底座旋转连接； 机械爪包括安装板、 驱动件及一对分别设于驱动件两端 的机械手指； 安装板的一端与第四臂旋转连接另一端与驱动件相连， 且驱动件位于安装板 与第四臂相背的一侧， 驱动件驱动一对机械手指向相互靠近或远离的方向移动以抓取或松 开一个物料盒并在机 械臂带动下移动物料盒。 [0005]该专利中公开的抓取装置虽然能够实现自动抓取， 但是， 该抓取装置是固定型不 能够移动的且抓取大小不能调节， 具有局限性， 通用性较差， 因此， 设计出一种半导体晶圆 盒抓取装置是很有必要的。 发明内容 [0006]本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题， 提出了一种半导体晶圆盒抓 取装置， 该半导体晶圆盒抓取装置具有通用性高的特点。 [0007]本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现： 一种半导体晶圆盒抓取装置， 包 括工作台， 其特征在于， 所述工作台上通过一移动机构设置有机械手， 所述机械手包括机械 臂和夹取机构， 夹取机构安装在机械臂的活动端， 所述夹取机构包括电机一、 安装块一、 夹 体、 推杆一、 推杆二、 齿轮一、 夹板一和 夹板二， 电机一安装在机械臂的活动端， 安装块一的 一端连接在电机一的输出轴 上， 夹体通过转动轴转动连接在安装块一的另一端， 转动轴还 与一使其转动的电机二相连， 且电机二安装在安装块一上， 所述夹体两侧水平滑动安装有 推杆一和推杆二， 夹板一连接在推杆一的外端， 推杆一的内端 具有齿牙部一， 夹板二连接在 推杆二的外端， 推杆二的内端 具有齿牙部二， 夹体中部安装有电机三， 电机三的输出轴上安 装有齿轮一， 且齿轮一与齿牙部一相啮合同时齿轮一又与齿牙部二相啮合， 所述移动机构 包括电机四、 齿轮二和滑块， 所述工作台上水平安装有导槽体， 导槽体上具有齿槽部， 滑块 与导槽体滑动连接， 所述机械手的安装端 连接有底座， 底座和滑块相连， 电机四安装在底 座 内部， 齿轮二固定在电机四的输出轴上， 且齿轮二与齿槽部相啮合， 所述工作台上还开有若 干物料槽， 物料槽沿着导槽体的长度方向均匀布置， 物料槽底部安装有运送机构， 物料槽的说　明　书 1/4 页 3 CN 217866831 U 3