(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221959036.9 (22)申请日 2022.07.27 (73)专利权人 晶科能源 （上饶） 有限公司 地址 334100 江西省上饶市上饶经济技 术 开发区晶科 大道1号 专利权人 晶科能源股份有限公司 (72)发明人 李超　黄浩　赵川　 (74)专利代理 机构 上海晨皓知识产权代理事务 所(普通合伙) 3126 0 专利代理师 成丽杰 (51)Int.Cl. F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 刻蚀风刀 (57)摘要 本实用新型涉及刻蚀风干槽风刀技术领域， 公开了一种刻蚀风刀， 包括外风刀管道,内风刀 管道， 所述内风刀管道位于所述外风刀管道内 部、 且可绕自身轴线相对所述外风刀管道旋转, 以及连通所述内风刀管道的进风管， 所述进风管 用于为所述内风刀管道通风,其中， 所述内风刀 管道设有风槽口， 所述外风刀管道设有缺口， 所 述缺口的尺 寸大于所述风槽口的尺 寸， 所述风槽 口经由所述缺口暴露在外， 当所述内风刀管道绕 自身轴线旋转时， 所述风槽口在所述缺口的开口 范围内移动， 可以在开机状态下随时调整刻蚀风 刀的出风角度， 能够实时确认调整效果， 提高调 整效率。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 217929697 U 2022.11.29 CN 217929697 U 1.一种刻蚀风刀， 设于烘干 槽内， 其特 征在于， 包括： 外风刀管道； 内风刀管道， 所述内风刀管道位于所述外风刀管道内部、 且可绕自身轴线相对所述外 风刀管道旋转； 以及 连通所述内风刀管道的进风管， 所述进风管用于为所述内风刀管道通 风； 其中， 所述内风刀管道设有风槽口， 所述外风刀管道设有缺口， 所述缺口的尺寸大于所 述风槽口的尺寸， 所述风槽口经 由所述缺口暴露在外， 当所述内风刀管道绕自身轴线旋转 时， 所述风槽口在所述 缺口的开口范围内移动。 2.根据权利要求1所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述风槽口为多个， 所述缺口为多个， 所述风槽口和所述 缺口一一对应连通。 3.根据权利要求2所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述外风刀管道垂直于自身轴线的截 面为圆环状， 所述 缺口在所述圆环周向方向上的长度为所述圆环周长的四分之一。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述外风刀管道设有通孔， 所述进风管固定连接所述通孔的边缘， 所述内风刀管道设有进风口， 所述进风口的尺寸大 于所述通孔， 所述内风刀管道绕自身轴线旋转过程中， 所述 通孔和所述进风口保持连通。 5.根据权利要求4所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述进风管为多个， 所述通孔为多个， 所述进风管和所述 通孔一一对应连接 。 6.根据权利要求5所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述进风口为多个， 所述进风口和所 述通孔一一对应连通。 7.根据权利要求1所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述外风刀管道具有两个相对的端部 开口， 所述内风刀管道相对的两端和所述端部开口一一对应、 且伸出所述开口， 所述内风刀 管道的两端和所述烘干 槽相对的两个侧壁 一一对应、 且可转动地连接 。 8.根据权利要求7所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 还包括调节部， 所述调节部位于所述 内风刀管道的任一端， 所述调节部可在外部施力作用下带动所述内风刀管道绕自身轴线旋 转。 9.根据权利要求8所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述调节部包括旋钮， 所述内风刀管 道的外壁周向设有第一齿牙， 所述旋钮设有第二齿牙， 所述第一齿牙和所述第二齿牙啮合 连接。 10.根据权利要求8所述的刻蚀风刀， 其特征在于， 所述调节部为把手， 所述把手的一端 固定连接所述内风刀管道， 所述把手的另一端沿所述内风刀管道的径向朝远离所述内风刀 管道的方向延伸。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217929697 U 2刻蚀风刀 技术领域 [0001]本实用新型 涉及刻蚀风干 槽风刀技 术领域， 特别涉及一种刻蚀风刀。 背景技术 [0002]在太阳能电池的制造过程中， 硅片需要在刻蚀后才能使用， 在刻蚀过程中， 需要使 用风刀或热烘干机对硅片进 行风干， 热烘干机结构复杂， 安装成本高， 因此， 在刻蚀工序中， 对硅片的风干更多 使用风刀。 [0003]然而， 现有风刀的出风角度相对固定， 当刻蚀的硅片不同时， 风刀的吹干效果不 同， 需要对风刀的出风角度进行调整， 才能确保把硅片吹干， 但现有风刀的结构复杂， 调整 出风角度时， 需要停机后调整， 调整后开机根据吹干效果再确定是否需要进一步调整， 调整 效率低。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种刻蚀风刀， 可以在开机状态下随时调整刻蚀风刀 的出风角度， 能够实时确认调整效果， 提高调整效率。 [0005]为解决上述 技术问题， 本实用新型的实施方式提供了一种刻蚀风刀， 包括： [0006]外风刀管道； 内风刀管道， 所述内风刀管道位于所述外风刀管道内部、 且可绕自身 轴线相对所述外风刀管道旋转； 以及连通所述内风刀管道的进风管， 所述进风管用于为所 述内风刀管道通风； 其中， 所述内风刀管道设有风槽口， 所述外风刀管道设有缺口， 所述缺 口的尺寸大于所述风槽口的尺寸， 所述风槽口经 由所述缺口暴露在外， 当所述内风刀管道 绕自身轴线旋转时， 所述 风槽口在所述 缺口的开口范围内移动。 [0007]本实用新型实施方式相对于现有技术而言， 包括外风刀管道、 内风刀管道和连通 内风刀管道的进风管， 进风管用于为内风刀管道 通风， 内风刀管道 位于外风刀管道内部、 且 可绕自身轴线相对外风刀管道旋转， 内风刀管道设有用于出风的风槽口， 外风刀管道设有 用于将风槽口暴露于外部环境的缺口， 当内风刀管道绕自身轴线旋转时， 风槽口在缺口的 范围内移动， 这样， 在刻蚀风刀的使用过程中， 可以直接转动内风刀管道， 改变风槽口的位 置， 从而调整刻蚀风刀的出风角度， 即可以在开机状态下随时调整刻蚀风刀的出风角度， 能 够实时确认调整效果， 提高调整效率。 [0008]可选的， 所述风槽口为多个， 所述缺口为多个， 所述风槽口和所述缺口一一对应连 通。 设置多个风槽口和多个缺口， 并使风槽口和缺口一一对应连通， 这样， 在硅片移动的过 程中， 刻蚀风刀有 多个位置可以对硅片进行风干， 提高风干效果。 [0009]可选的， 所述外风刀管道垂直于自身轴线的截面为圆环状， 所述缺口在所述圆环 周向方向上的长度为所述圆环周长的四分之一。 外风刀管道垂 直于自身轴线的截面为圆环 状， 缺口在圆环周向方向上的长度为圆环周长的四分之一， 即缺口的弧度为90 °， 这样， 可以 使风槽口有一个 较大的调整范围， 可以满足不同硅片的风干需求。 [0010]可选的， 所述外风刀管道设有通孔， 所述进风管固定连接所述通孔的边缘， 所述内说　明　书 1/5 页 3 CN 217929697 U 3