ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T28632—2012/ISO18516:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱和 X射线光电子能谱 横向分辨率测定 Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopyDetermination of lateral resolution （ISO18516:2006,IDT) 2012-07-31发布 2013-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T28632—2012/ISO18516:2006 目 次 前言 范围 2 规范性引用文件 3 术语、定义、符号和缩略语 一般信息 5 直边法测量横向分辨率 6 栅格法测量横向分辨率 金岛法测量横向分辨率 10 附录A（资料性附录） 带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14 附录B（资料性附录） 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16 附录C（资料性附录） 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17 参考文献 19

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