ICS71.040.40 CCS G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43661—2024/ISO13083:2015 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的 电扫描探针显微镜（ESPM，如 SSRM 和 SCM)空间分辨的定义和校准 Surface chemical analysisScanning probe microscopy- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes (ISO 13083:2015, IDT) 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会

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