GB-T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T22572—2008/IS020341:2003 表面化学分析二次离子质谱用多层参考物质评估深度分辨参数的方法 Surface chemical analysis--Secondary-ion mass spectrometry- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials (ISO 20341:2003,IDT) 2008-12-11发布 2009-10-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T22572—2008/1S020341:2003 前言本标准等同采用ISO20341:2003《表面化学分析斤——二次离子质谱--—-用多层参考物质评估深度分辨参数的方法》。为便于使用，本标准对ISO20341：2003做了下列编辑性修改：删除了原国际标准的前言部分；将本国际标准改为本标准。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。 I

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