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书 书 书犐犆犛 31 . 200 犔 55 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 34899 — 2017 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ( 犕犈犕犛 ) /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G21 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G2E 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狔狊狋犲犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔 — 犕犲犪狊狌狉犻狀犵犿犲狋犺狅犱狅犳犿犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狊狌狉犳犪犮犲狊狋狉犲狊狊犫犪狊犲犱狅狀犚犪犿犪狀狊狆犲犮狋狉狅狊犮狅狆狔 2017 11 01 /G39 /G3A 2018 05 01 /G3B /G3C /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G39 /G3A /G21 /G22 /G21 /G22 Ⅰ ………………………………………………………………………………………………………… 1 /G23 /G24 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A 1 ………………………………………………………………………………………… 3 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 1 …………………………………………………………………………………………… 5 /G32 /G33 /G36 /G2A 2 ………………………………………………………………………………………………… 5.1 /G37 /G38 2 ………………………………………………………………………………………………… 5.2 /G39 /G3A /G3B /G3C 2 …………………………………………………………………………………………… 5.3 /G3D /G3E /G3B /G3C 2 …………………………………………………………………………………………… 5.4 /G3F /G40 /G36 /G2A 2 …………………………………………………………………………………………… 5.5 /G32 /G33 /G41 /G42 2 …………………………………………………………………………………………… 6 /G32 /G33 /G25 /G43 4 ………………………………………………………………………………………………… 6.1 /G3D /G3E /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 4 …………………………………………………………………………………… 6.2 /G32 /G33 /G41 /G42 /G49 /G4A 4 ……………………………………………………………………………………… 6.3 /G4B /G4C /G32 /G33 /G4D /G4E 4 ……………………………………………………………………………………… 6.4 /G32 /G33 /G4F /G50 4 …………………………………………………………………………………………… 6.5 /G32 /G33 /G51 /G52 6 …………………………………………………………………………………………… 6.6 /G44 /G45 /G53 /G54 /G55 /G56 /G2E 6 …………………………………………………………………………………… 6.7 /G30 /G31 /G57 /G58 6 …………………………………………………………………………………………… /G59 /G52 A ( /G5A /G5B /G26 /G59 /G52 ) /G5C /G5D /G5E /G41 /G55 /G30 /G31 /G2D /G44 /G45 /G53 /G54 /G5F /G60 /G55 /G61 /G58 /G62 /G41 7 ………………………………… /G59 /G52 B ( /G5A /G5B /G26 /G59 /G52 ) /G63 /G64 /G65 /G66 /G30 /G31 /G32 /G33 /G41 /G42 /G67 /G68 8 …………………………………………………… /G59 /G52 C ( /G5A /G5B /G26 /G59 /G52 ) /G69 /G6A /G6B /G6C /G6D /G30 /G31 /G44 /G45 /G46 /G47 /G6E /G32 /G33 /G67 /G68 10 ………………………………………… 犌犅 / 犜 34899 — 2017 /G23 /G24 /G6F /G70 /G3E /G71 /G72 GB / T1.1 — 2009 /G73 /G74 /G55 /G25 /G38 /G75 /G76 。 /G6F /G70 /G3E /G77 /G78 /G79 /G69 /G7A /G7B /G7C /G2B /G70 /G3E /G7D /G7C /G2B /G7E /G7F /G80 ( SAC / TC336 ) /G81 /G74 /G82 /G83 /G84 。 /G6F /G70 /G3E /G85 /G3B /G75 /G76 /G86 /G87 : /G88 /G89 /G8A /G8B 、 /G88 /G7A /G8C /G8D /G31 /G8E /G8F /G88 /G90 。 /G6F /G70 /G3E /G85 /G3B /G75 /G76 /G91 : /G92 /G93 /G94 、 /G95 /G96 、 /G43 /G97 /G98 、 /G99 /G9A /G9B 、 /G9C /G9D /G9E 、 /G9F /GA0 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 34899 — 2017 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 ( 犕犈犕犛 ) /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G25 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G32 1 /G3D /G3E /G6F /G70 /G3E /G25 /G2E /GA1 /G44 /G45 /G46 /G47 /G6E /G32 /G2E /G69 /G7A /G7B /G41 /G42 ( MEMS ) /G6A /G6B /G6C /G6D /GA2 /GA3 /G30 /G31 、 /G63 /G64 /GA4 /G66 /G30 /G31 、 /G63 /G64 /G65 /G66 /G30 /G31 /G55 /G5D /G6E 。 /G6F /G70 /G3E /GA5 /G28 /GA6 /G69 /G7A /G7B /G41 /G42 ( MEMS ) /G6A /G6B /G6C /G6D /GA2 /GA3 /G30 /G31 、 /G63 /G64 /GA4 /G66 /G30 /G31 、 /G63 /G64 /G65 /G66 /G30 /G31 /G55 /G44 /G45 /G46 /G47 /G6E /G32 /G33 。 2 /G3F /G3D /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 /GA7 /GA8 /G29 /G2A /G64 /GA6 /G6F /G29 /G2A /G55 /G30 /G28 /GA9 /GAA /GAB /GAC /GAD /G55 。 /GAE /GA9 /GAF /GB0 /GB1 /G55 /G27 /G28 /G29 /G2A , /GB2 /GAF /GB0 /GB1 /G55 /GB3 /G6F /GA5 /G28 /GA6 /G6F /G29 /G2A 。 /GAE /GA9 /GAB /GAF /GB0 /GB1 /G55 /G27 /G28 /G29 /G2A , /GB4 /GB5 /GB6 /GB3 /G6F ( /GB7 /GB8 /GB9 /GBA /G55 /GBB /GBC /G86 ) /GA5 /G28 /GA6 /G6F /G29 /G2A 。 GB / T2421.1 /G7B /GBD /G7B /GBE /G8D /G3A /G3F /G40 /G33 /GBF /GC0 /GC1 /G2D /GC2 /GC3 GB / T25915.1 /GC4 /GC5 /GC6 /GC7 /G63 /G62 /GC8 /GC9 /G3F /G40 /GCA 1 /GCB /GCC : /GCD /GCE /GC4 /GC5 /GCF /GD0
GB-T 34899-2017 微机电系统 MEMS 技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
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