书 书 书犐犆犛 ３１ ． ２２０ 犔 ９５ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G24 /G25 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G22 犈狇狌犻狆犿犲狀狋犳狅狉狆狉犲狆犪狉犪狋犻狅狀狅犳狀犻狋狉犻犱犲狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犿犪狋犲狉犻犪犾狊犫狔犺狔犱狉犻犱犲狏犪狆狅狉狆犺犪狊犲犲狆犻狋犪狓狔 ２０１８  ０９  １７ /G32 /G33 ２０１９  ０１  ０１ /G34 /G35 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G32 /G33 书 书 书目 　　 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 范围 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 规范性引用文件 １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 术语和定义 １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 产品分类和标记 ２ ………………………………………………………………………………………… 　 ４．１ 　 分类 ２ ………………………………………………………………………………………………… 　 ４．２ 　 型号标记 ２ …………………………………………………………………………………………… ５ 　 工作条件 ３ ………………………………………………………………………………………………… 　 ５．１ 　 电源 ３ ………………………………………………………………………………………………… 　 ５．２ 　 环境温度 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ５．３ 　 相对湿度 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ５．４ 　 大气压力 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ５．５ 　 洁净室等级 ４ ………………………………………………………………………………………… 　 ５．６ 　 冷却水 ４ ……………………………………………………………………………………………… 　 ５．７ 　 动力气体 ４ …………………………………………………………………………………………… ６ 　 要求 ４ ……………………………………………………………………………………………………… 　 ６．１ 　 压升率 ４ ……………………………………………………………………………………………… 　 ６．２ 　 气体输运系统 ４ ……………………………………………………………………………………… 　 ６．３ 　 电气系统 ４ …………………………………………………………………………………………… 　 ６．４ 　 控制软件 ４ …………………………………………………………………………………………… 　 ６．５ 　 整机性能 ５ …………………………………………………………………………………………… 　 ６．６ 　 安全防护 ５ …………………………………………………………………………………………… ７ 　 检测方法 ６ ………………………………………………………………………………………………… 　 ７．１ 　 压升率测试 ６ ………………………………………………………………………………………… 　 ７．２ 　 气体输运系统检测 ６ ………………………………………………………………………………… 　 ７．３ 　 电气系统检测 ６ ……………………………………………………………………………………… 　 ７．４ 　 控制软件检测 ７ ……………………………………………………………………………………… 　 ７．５ 　 整机性能检测 ７ ……………………………………………………………………………………… 　 ７．６ 　 安全防护检测 ９ ……………………………………………………………………………………… ８ 　 检验规则 ９ ………………………………………………………………………………………………… 　 ８．１ 　 检验分类 ９ …………………………………………………………………………………………… 　 ８．２ 　 型式检验 ９ …………………………………………………………………………………………… 　 ８．３ 　 出厂检验 １０ …………………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ 　 ８．４ 　 判定规则 １０ …………………………………………………………………………………………… ９ 　 标志 、 包装 、 运输和储存 １０ ………………………………………………………………………………… 　 ９．１ 　 标志 １０ ………………………………………………………………………………………………… 　 ９．２ 　 包装 １１ ………………………………………………………………………………………………… 　 ９．３ 　 运输 １１ ………………………………………………………………………………………………… 　 ９．４ 　 储存 １１ ………………………………………………………………………………………………… 附录 Ａ （ 规范性附录 ） 　 氮化物外延材料厚度测量 １２ ……………………………………………………… Ⅱ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ 前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） 提出并归口 。 本标准起草单位 ： 东莞市中镓半导体科技有限公司 、 中国电子技术标准化研究院 。 本标准主要起草人 ： 刘鹏 、 孙永健 、 丁晓民 、 冯亚彬 、 王健辉 。 Ⅲ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８