Translated by GPT IEC IEC60747-14-4 1.0版2011年1月 国际的 标准 TRANSLATION TUV Rx TUV Rx TUV Rx MACHINE 顿色 半导体器件－分立器件， 第14-4部分：半导体加速度计 Translated by GPT 2 - 60747-14-4 @ IEC:2011 内容 前言. 介绍. 1 范围 .8 2规范性引用文件 8 3术语和字母符号 3.1术语和定义， 3.2字母符号 154基本额定值和特 .16 4.1概述 4.1.1工作原理， 164.1.2单轴和多 轴。 .164.1.3绩效评 估.. .. 17 4.1.4灵敏度. 174.1.5分 18 4.1.6符号(g) ，194.1.7客户和供应 商. .194.1.8线性和非线 性. .194.1.9元件材 料, .19 4.1.10操作注意事项. 204.1.11加速度计安装条 件... .204.1.12规格 204.2额定值（极限值） 204.3推荐操作状 204.4特 况 点 .21 4.4.1测量范围 214.4.2灵敏度和灵敏度误 差 .214.4.3偏置（offset)和偏置（offset)误 差 214.4.4线性 度 214.4.5不对 中 .224.4.6交叉轴灵敏 度 224.4.7交叉耦合系 数. .224.4.8灵敏度温度系 数. 224.4.9偏置温度系 数.. .224.4.10频率响 应. .224.4.11电源电 流... 224.4.12输出噪 声 22 4.4.13 比 率 224.4.14自 检. .23 5测量方法 .23 5.1概述， ..23 5.1.1标准测试条件 23 5.1.2测试和校准方法适用的测量方法 235.2特性测试方 法.. 255.2.1测量范 围. 255.2.2电源电压范 围.... 265.2.3灵敏度和灵敏度误 差 .26 Translated by GPT 60747-14-4 @ IEC:2011 -3- 5.2.4偏差和偏差误差 26 5.2.5线性度 275.2.6不对 中 ..295.2.7交叉轴灵敏 度 .305.2.8交叉耦合系 数。 .305.2.9灵敏度温度系 数. .315.2.10偏置温度系 数. .315.2.11频率响应 TUVRX TUVRX TUVRx MACHINE TRANSLATION 315.2.12供电电流 355.2.13输出噪 声 356验收和可靠 性 36 6.1环境测试. 36 6.1.1高温储存 .366.1.2低温储 存. .366.1.3温度湿度存储 37 6.1.4温度循环 37 6.1.5热冲击 37 6.1.6盐雾.. 6.1.7振动.. 37 6.1.8机械冲击 37 6.1.9电噪声抗扰度 .376.1.10静电放电抗扰 度.. .376.1.11电磁场辐射抗扰度 .38 6.2可靠性测试. 386.2.1稳态寿 386.2.2温度湿度寿 命. .38附件A（资料性附录）加速度计灵敏度矩阵的定 义. .39附录B（资料性附录)使用加速度计进行动态线性度测量冲击加速度发生 器 .79附录C（资料性）峰值灵敏度的测 量 .88 参考书目 .97 图1-单轴加速度计 17图2-多轴加速度 .17 图3－加速度计的数学定义概念 18图4-加速度计增益动态线性概念 28 图5-相位加速度计动态线性度的概念 29图6-半导体加速度计作为一个系 统 .33 图7-用于加速计频率响应概念的组装半导体加速计系统的结构示例 34 图8－通过电输入进行频率响应测量的示意图.. .35图A.1=方向余弦示例 46 图A.2-在法线坐标系中组装的加速度计或传感器（上图)以及加速度分量投影到三个坐标轴平面XY、YZ和ZX（下 图) .53图B.1-动态线性测量设 置 .86图C.1-峰值灵敏度作为从DC到fn的每个频率带宽的函数.....88图C.2 冲击加速度频率带宽控制的设置.