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ICS 29.045 CCS H 83 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T XXXXXXXX 化学气相沉积硫化锌晶体 Chemical vapor deposition of zinc sulfide crystals (报批稿) XXXX- XX- XX 发布 XXXX-XX-XX实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 YS/T XXXX-XXXX 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员 会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)提出并归口。 本文件起草单位:山东有研国晶辉新材料有限公司、云南驰宏国际锗业有限公司、国合通用测试评 价认证股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、厦门万明电子有限公司、有研国晶辉新材料有限公 司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司。 本文件主要起草人:李冬旭、魏乃光、杨建纯、曹波、崔丁方、石红春、赵传星、刘潇涛、应常 建、刘红、朱赞芳、路淑娟、黎建明、于鹏涛、黄景明。 I
YS-T 1655-2023 化学气相沉积硫化锌晶体
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