ICS 77. 150. 99 YS CCS H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T15082021 钯蒸发料 Palladium evaporating material 2021-12-02 发布 2022-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1508—2021 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、成都光明派特贵金属有限公司、北京翠铂林有色金属技 术开发中心有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所。 本文件主要起草人：侯智超、高岩、贺昕、石映奔、王鹏、牟冉冉、滕海涛、罗瑶、张巧霞、吕保国、 董亭义、王炜。 YS/T1508-2021 钯蒸发料 1范围 本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行 文件和订货单内容。 本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 文件。 GB/T1420—2015海绵钯 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T15077一2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T19445贵金属及其合金产品的包装、标志、运输、贮存 3术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4分类和标记 4.1产品分类 产品的牌号、状态、形状、规格应符合表1的规定。 表1牌号、状态、形状、规格 规 格 号 牌 状态 形状 mm 直径 高度 宽度 长度 片状 0.1~5 5~20 5~20 IC-Pd99. 95 硬态 柱状 2~8 3~10 片状 0.1~5 5~20 5~20 - IC-Pd99. 99 硬态 柱状 2~8 3~10 4.2产品标记 产品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。 1