ICS29.045 H80/84 团 体 标 准 T/IAWBS016-2022 碳化硅单晶片X射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法 TestMethodforFullWidthatHalfMaximum ofDoubleCrystalX-rayRockingCurveof SiliconCarbideWafers 2022-03-17发布 2022-03-24实施 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布 全国团体标准信息平台 T/IAWBS016—2022 I目次 前言....................................................................................................................................................II 1范围..................................................................................................................................................1 2规范性引用文件..............................................................................................................................1 3术语和定义......................................................................................................................................1 4测试原理..........................................................................................................................................1 4.1晶体X射线衍射原理............................................................................................................1 4.2摇摆曲线测试原理.................................................................................................................2 4.3晶体摇摆曲线半高宽............................................................................................................2 5测试仪器..........................................................................................................................................2 5.1光路配置.................................................................................................................................2 5.2样品台.....................................................................................................................................2 5.3仪器校准.................................................................................................................................3 6干扰因素..........................................................................................................................................3 7测试环境..........................................................................................................................................3 8测试样品..........................................................................................................................................3 9测试程序..........................................................................................................................................3 9.1放置样品.................................................................................................................................3 9.2确定布拉格角.........................................................................................................................3 9.3调整样品.................................................................................................................................3 9.4测量点分布.............................................................................................................................4 9.5摇摆曲线测量.........................................................................................................................4 9.6确定半高宽.............................................................................................................................4 10精密度............................................................................................................................................4 11测试报告........................................................................................................................................5 附录A................................................................................................................................................6 全国团体标准信息平台 T/IAWBS016—2022 II前  言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规 则》的规定起草。 请注意本文件中的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的 责任。 本文件由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口。 本文件起草单位：国宏中宇科技发展有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联 盟、中科钢研节能科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研 究所、北京三平泰克科技有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、芜湖启迪半导体有 限公司、中国