ICS 77.120.10 H 61 中华人民共和国国家标准 GB/T 34213—2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝 High purity alumina for sapphire substrate 2018-06-01实施 2017-09-07发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34213—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本标准起草单位：四川鑫通新材料有限责任公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、四川鑫炬 新兴新光源材料有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司。 本标准主要起草人：钱幼平、熊洲、唐大林、薛抗美、黄修康、侯龙超、张强 541C 1 GB/T 34213—2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝 1范围 本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质 量证明书和订货单（或合同）内容等。 本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝（以下简称高纯氧化铝），其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧 化铝可参照本标准执行。 高纯氧化铝的分子式为Al2O3，相对分子质量为101.96，晶型为α。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 6609.22 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法取样 GB/T 6609.26 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法有效密度的测定比重瓶法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T 16418 颗粒系统术语 JC/T 2147 高纯氧化铝的痕量金属元素等离子体发射光谱检测方法 3 术语和定义 GB/T14264和GB/T16418界定的术语和定义适用于本文件。 4要求 4.1产品分类 高纯氧化铝按真密度一般可分为4类，如表1所示。 表1高纯氧化铝分类 真密度 主要生产方式 类别 g/cm 高纯氧化铝1类 ≥3.95 火焰法等 高纯氧化铝2类 ≥3.80~3.95 等离子法等 高纯氧化铝3类 ≥3.00~3.80 压制烧结法、冷埚法等 高纯氧化铝4类 <3.00 4.2化学成分 高纯氧化铝有两个牌号：AO-A级、AO-B级，其化学成分应符合表2的规定。 1 GB/T34213—2017 表2高纯氧化铝的化学成分 化学成分/% 杂质含量 牌号 "OV Ti Cr Si Fe Na Ca Mg 总杂质含量 AO-A级 99.999 2.0X10-4 1.0X104 2.0X10- 2.0X10-4 1.0X10-4 1.0X10-4 1.0X10-4 1.0X10-3 AO-B级 99.995 3.0X10-4 1.0X10 3.0X10 3.0X10 1.0×10 1.0×10-4 1.0X10-4 5.0X10-3 4.3 外观及形态 高纯氧化铝的外观可为块状、饼状、颗粒状等，形态特征可为透明或半透明晶品体、多晶体、陶瓷体等， 具体要求可由供需双方在合同中约定。 4.4其他 需方对高纯氧化铝有特殊要求时，由供需双方协商确定。 5试验方法 5.1高纯氧化铝的真密度按GB/T6609.26规定的方法进行测定。 5.2高纯氧化铝的化学成分按JC/T2147的规定或用辉光放电质谱法进行测定，仲裁按JC/T2147的 规定进行。 5.3高纯氧化铝的外观及形态目视检验。 6检验规则 6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同的规定，并填写产品质 量证明书。 6.1.2需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本标准或合同的规定不符时，应在收到产品之日 起15日内向供方提出，由供需双方协商解决。 6.2组批 产品应成批提交验收。每批应由相同化学成分、以同批原料按类似工艺条件生产并可追溯生产条 件的高纯氧化铝组成。 SZIC 6.3检验项目 每批产品应对真密度、化学成分、外观及形态进行检验。需方有其他要求时，应在合同中注明。 2