ICS 77. 120. 99 H68 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T26312—2010 蒸发金 Gold for evaporating 2011-01-14发布 2011-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T26312—2010 前言 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：北京达博有色金属焊料有限责任公司、贺利氏招远贵金属材料有限公司、贺利氏 招远（常熟）电子材料有限公司、北京有研亿金新材料股份有限公司。 本标准主要起草人：杜连民、向翠华、禹洁丽、房晋、周晓光、毛松林、王卫东、付建彬、闫琳 5AG I GB/T26312—2010 蒸 发金 1范围 本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T11066（所有部分）金化学分析方法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934（所有部分）高纯金化学分析方法 3要求 3.1产品分类 3.1.1蒸发金产品按化学成分分为Z-Au99.999和Z-Au99.99两种牌号。 3.1.2蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态应满足表1的要求。需方有 其他要求时由供需双方协商解决。 表 1 定 形状 义 供货状态 柱状 直径为0.5mm~8mm、长度为2mm~100mm的线材 片状 长为5mm~20mm，宽为5mm~20mm厚为0.5mm~3mm的片材 硬态 直径为0.5mm~2mm、重量在100g~500g的线材盘成线盘 线盘状 状为主，线盘直径一般为100mm~300mm 3.2产品标记示例 3.2.1柱状蒸发金标记 Z-Au99.999.$xmm 长度 直径 示例：直径为5mm、长度为20mm、成分为99.999%的柱状蒸发金产品标记为：Z-Au99.999.$5×z0mm。 GB/T26312—2010 3.2.2 蒸发金片状产品标记 Z-Au99.999.xxmm 厚 宽 长 示例：长为10mm、宽为10mm、厚为2mm的片状蒸发金产品标记为：Z-Au99.999,10×10×2mm。 3.2.3蒸发金线盘状产品标记 Z-Au99.999,mm，g/线盘 每线盘重量 线材直径 3.3化学成分 产品化学成分应符合表2的要求，其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而 得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，按供需双方协商进行。 表 2 杂质含量（质量分数）/%，不大于 Au/% 牌号 不小于 Ag Cu Fe Pb Bi Sb Si Mn Z-Au99.999 ≥99.999 0.0005 0.0001 0.0002 0.0001 0.0001 0.0001 0. 000 2 0.0001 Z-Au 99.99 ≥99.99 0.005 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.005 0.0003 杂质含量（质量分数）/%，不大于 Au/% 牌号 不小于 Pd Mg As Sn Cr Ni 总量 Z-Au 99.999 ≥99.999 0.0001 0.0002 0.0001 0.000 1 0.0001 0.0001 0.01 Z-Au99.99 ≥99.99 0.005 0.003 0.003 0.001 0.0003 0.0003 0. 1 3.4尺寸及允许偏差 3.4.1产品形状如图1所示。片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求；柱状产品的尺寸及允许偏 差应符合表4和表5的要求；线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求，以需方要求的每盘重量范 围为主协商解决。 .4 [-] - a）片状 b）柱状 c）线盘状 图1蒸发金产品图 2 GB/T26312—2010 表3 单位为毫米 示意尺寸 A B c 允许偏差 ±1 ±1 ±0.2 表 4 单位为毫米 允许偏差 直 径 ≥0.10 ±0.01 ≥1.00 ±0.08 >3.0 ±0.08 ≥5.0 ±0.09 ≥6.0 ±0.09 ≥7.0 ±0.1 ≥8.0 ±0. 1 表 5 5长度允许偏差 单位为毫米 定尺长度 允许偏差 ≤10 ±1, 0 >10 ±2. 0 3.4.2 供需双方可协商生产其他规格产品，需方如有其他要求在合同中注明。 3.5 外观质量 3.5.1 蒸发金产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。 3.5. 2 蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污。 3.5.3 蒸发金产品表面充许有个别的、深度不超出直径充许偏差的凹坑和划痕等缺陷 3.5.4 蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。 3.6 内部组织 蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证，内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷。 4试验方法 4.1Z-Au99.999蒸发金的化学成分仲裁分析方法按GB/T25934的规定进行。Z-Au99.99蒸发金 的化学成分仲裁分析按GB/T11066的规定进行。 4.2产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行。 4.3 外观质量检验采用目视进行，必要时可采用放大镜或（10～25）倍双目显微镜检查。 3