ICS 31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T31369—2015 太阳电池用电子级氢氟酸 Electronic grade hydrofluoric acid for solar cells 2015-02-04发布 2015-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 31369—2015 目 次 前言 II 范围 规范性引用文件 2 3 性状 技术要求 4 5 试验方法 6 检验规则… 10 7 标志、标签 8 包装、运输、储存 附录A（资料性附录） 氢氟酸样品溶液的离子色谱图 12 GB/T31369—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203提出并归口。 本标准主要起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、英利集团有 限公司。 本标准要起草人：戈十勇、何珂、干周、干香、史金超。 GB/T 31369—2015 太阳电池用电子级氢氟酸 1范围 本标准规定了太阳电池用电子级氢氟酸（以下简称电子级氢氟酸）的性状、技术要求、试验方法、检 验规则、标志、标签和包装、运输、储存。 本标准适用于电子级氢氟酸。 限制。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T6682一2008分析实验室用水规格和试验方法 GB/T11446.1—2013 电子级水 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB50472—2008 电子工业洁净厂房设计规范 3性状 电子级氢氟酸为无色、具有刺激性气味的氟化氢水溶液，具有腐蚀性，剧毒。 注：腐蚀性：能强烈地腐蚀玻璃等含硅的物料。 4技术要求 4.1外观 电子级氢氟酸外观为无色透明液体。 4.2 技术要求 电子级氢氟酸的技术要求应符合表1的规定。 1 GB/T31369—2015 表 1 技术要求 指 标 项目 E1 E2 E3 含量(HF) ≥40.0 ≥40.0 ≥40.0 % 颗粒（≥0.5μm） ≤100 ≤50 ≤25 pcs/mL 颗粒（≥1.0μm） ≤25 ≤25 ≤10 pcs/mL 氯化物（CI） <5 <3 13 mg/kg 硝酸盐（NO：） <3 <3 <3 mg/kg 硫酸盐（SO,-） <5 ≤5 ≤0.5 mg/kg 磷酸盐（PO3-） <1 ≤1 90> mg/kg 氟硅酸盐（SiF2） ≤200 ≤50 ≤50 mg/kg 铝(AI) ≤50 ≤50 ≤10 μg/kg 砷(As) ≤1 000 ≤50 ≤10 μg/kg 金(Au) - ≤20 ≤10 μg/kg 银(Ag) - ≤20 ≤10 μg/kg 硼 (B) 09V ≤20 ≤10 μg/kg 钡(Ba) ≤100 ≤50 ≤10 μg/ kg 铍(Be) ≤100 ≤50 ≤10 μg/kg 铋(Bi) 100 ≤50 ≤10 μg/ kg 钙(Ca) ≤100 ≤50 ≤10 μg/ kg 镉(Cd) ≤20 ≤10 μg/kg 钻(Co) ≤50 ≤10 μg/kg 2