ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T31469—2015 半导体材料切削液 Semiconductormaterialscuttingfluid 2015-05-15发布 2016-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅰ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 技术要求 1 ………………………………………………………………………………………………… 4 试验方法 2 ………………………………………………………………………………………………… 5 检验规则 2 ………………………………………………………………………………………………… 6 标志、包装、储存及运输 3 …………………………………………………………………………………GB/T31469—2015 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气 集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准起草人:缪德俊、徐蓉艳、缪立山、彭新玲、丁浩、郭倩、蒲学军、王香。 ⅠGB/T31469—2015 半导体材料切削液 1 范围 本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等 要求。 本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T3143 液体化学产品颜色测定法(Hazen单位———铂-钴色号) GB/T4472—2011 化工产品密度、相对密度的测定 GB/T6368 表面活性剂 水溶液pH值的测定 电位法 GB/T6678 化工产品采样总则 GB/T6680 液体化工产品采样通则 GB/T6682—2008 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T10247 粘度测量方法 GB/T11275 表面活性剂 含水量的测定 GB/T11446.1 电子级水 GB/T12582 液态烃类电导率测定法 GB/T15346—2012 化学试剂 包装及标志 3 技术要求 半导体材料切削液技术要求应符合表1规定。 表1 半导体及太阳能级晶体材料线切割用切削液要求 项目要 求 Ⅰ型 Ⅱ型 Ⅲ型 外观 无色或微黄透明液体 粘度 mPa·s(25℃)≤40 40~52 ≥52 密度 g/cm3(25℃)1.103~1.118 1.113~1.126 1.118~1.130 1GB/T31469—2015