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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222243916.2 (22)申请日 2022.08.25 (73)专利权人 东莞市速远自动化设备有限公司 地址 523000 广东省东莞 市塘厦镇 桥蛟中 路122号2栋101室 (72)发明人 黎开明 (74)专利代理 机构 北京众合诚成知识产权代理 有限公司 1 1246 专利代理师 王熙文 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) C25D 3/38(2006.01) C25D 5/34(2006.01)C25D 7/00(2006.01) (54)实用新型名称 电镀铜前处 理空喷水洗 槽 (57)摘要 本实用新型公开了电镀铜前处理空喷水洗 槽, 包括水洗槽体、 设置在水洗槽体中的喷管, 电 镀基板能够竖直定位在水洗槽体中, 喷管包括位 于电镀基板旁侧的侧喷管, 以及, 位于电镀基板 顶部的顶喷管。 本实用新型采用空槽喷淋水洗方 式来清洗电镀基板, 电镀基板呈竖立状, 侧喷管 和顶喷管使喷淋全覆盖, 通过高压喷淋方式, 有 利于清理电镀基板上的孔, 提高清洁效果, 提升 电镀品质。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217941107 U 2022.12.02 CN 217941107 U 1.电镀铜前处理空喷水洗槽, 包括水洗槽体(10)、 设置在水洗槽体 中的喷管, 其特征在 于: 电镀基板(30)能够竖直定位在水洗槽体中, 喷管包括位于电镀基板旁侧的侧喷管(21), 以及, 位于电镀基板顶部的顶喷管(2 2)。 2.如权利要求1所述的电镀铜前处理空喷水洗槽, 其特征在于: 侧喷管(21)位于电镀基 板(30)的两侧。 3.如权利要求1或2所述的电镀铜前处理空喷水洗槽, 其特征在于: 水洗槽体(10)内设 有若干槽位, 每一槽位能够竖直定位电镀基板(30), 每一槽位设有侧喷管(21)和顶喷管 (22)。 4.如权利要求1所述的电镀铜前处理空喷水洗槽, 其特征在于: 还包括水洗副槽(40)和 过滤机(50), 过滤机将水洗副槽内的水抽入喷管。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217941107 U 2电镀铜前处理空喷水洗槽 技术领域 [0001]本实用新型 涉及电镀设备, 具体涉及电镀基板的清洗设备。 背景技术 [0002]电镀铜前, 需要清洗电镀基板, 按现有技术, 电镀基板放置在水洗槽中, 采用浸泡 方式进行清洗 。 此种清洗方式, 效果 不佳。 清洁不良会造成漏镀等品质问题。 实用新型内容 [0003]本实用新型 所解决的技 术问题: 提升电镀基板的清洗效果。 [0004]为解决上述技术问题, 本实用新型提供如下技术方案: 电镀铜前处理空喷水洗槽, 包括水洗槽体、 设置在水洗槽体中的喷管, 电镀基板能够竖直定位在水洗槽体中, 喷管包括 位于电镀基板旁侧的侧喷管, 以及, 位于电镀基板顶部的顶喷管。 [0005]本实用新型采用空槽喷淋水洗方式来清洗电镀基板, 电镀基板呈竖立状, 侧喷管 和顶喷管使喷淋全覆盖, 通过高压喷淋方式, 有利于清理电镀基板上 的孔, 提高清洁效果, 提升电镀品质。 附图说明 [0006]下面结合附图对本实用新型做进一 步的说明: [0007]图1为电镀铜前处 理空喷水洗 槽的整体示 意图; [0008]图2为图1中从右侧观察水洗 槽体所得的示意图。 [0009]图中符号说明: [0010]10、 水洗槽体; [0011]21、 侧喷管; 2 2、 顶喷管; [0012]30、 电镀基板; [0013]40、 水洗副槽; [0014]50、 过滤机。 具体实施方式 [0015]结合图1、 图2, 电镀铜前处理空喷水洗槽, 包括水洗槽体10、 设置在水洗槽体中的 喷管, 电镀基板30能够竖直定位在水洗槽体中, 喷管包括位于电镀基板旁侧的侧喷管21, 以 及, 位于电镀基板顶部的顶喷管2 2。 [0016]水洗槽体 10内壁上可以设置插槽, 电镀基板30竖直插设在插槽中, 呈竖立状, 侧喷 管21位于电镀基板的两侧, 对电镀基板30进行喷淋。 顶喷管22从上而下对电镀基板进行喷 淋。 多方位对电镀基板 30进行全面喷淋, 提高清洁效果。 [0017]水洗槽体10内设有若干槽位, 每一槽位能够竖直定位电镀基板30, 每一槽位设有 侧喷管21和顶喷管2 2。 喷管间距小, 喷淋覆盖面大。说 明 书 1/2 页 3 CN 217941107 U 3
专利 电镀铜前处理空喷水洗槽
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